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控制多晶硅移除的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680044961.6
  • IPC分类号:H01L21/321
  • 申请日期:
    2006-09-29
  • 申请人:
    卡伯特微电子公司
著录项信息
专利名称控制多晶硅移除的方法
申请号CN200680044961.6申请日期2006-09-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-12-10公开/公告号CN101322227
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/321
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;1查看分类表>
申请人卡伯特微电子公司申请人地址
美国伊利诺伊州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡伯特微电子公司当前权利人卡伯特微电子公司
发明人杰弗里·戴萨德;蒂莫西·约翰斯;保罗·菲尼
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人宋莉
摘要
本发明涉及一种以包含磨料、聚氧化乙烯/聚氧化丙烯共聚物、水及抛光垫的化学-机械抛光系统来化学-机械抛光包含多晶硅及选自二氧化硅和氮化硅的材料的基板的方法。

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