一种基板反转装置

1.一种基板反转装置，其特征在于，包括：
至少两个固定单元，每一所述固定单元上能够至少固定一块基板；
以及，用于带动至少两个所述固定单元旋转，以使得至少两块基板同时反转的旋转驱动单元，所述旋转驱动单元与至少两个固定单元连接。
2.根据权利要求1所述的基板反转装置，其特征在于，
每一所述固定单元包括：
工作台，所述工作台具有用于放置基板的固定面；
用于将基板固定于所述固定面的固定结构，所述固定结构设置于所述工作台上；以及，用于对基板进行精确对位的对位结构，所述对位结构设置于所述工作台上。
3.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，
所述固定单元有两个，两个所述固定单元的工作台相对设置；所述旋转驱动单元包括沿一水平轴线放置的旋转轴，所述旋转轴设置于两个所述固定单元的工作台之间，并分别两个所述固定单元的工作台连接。
4.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，
所述固定结构包括：
分布在所述工作台的固定面上，用于将基板吸附于所述工作台的固定面上的多个吸盘；以及，与所述吸盘连通的输气管路。
5.根据权利要求4所述的基板反转装置，其特征在于，
不同的所述固定单元上的吸盘分别连通不同的所述输气管路。
6.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，
所述对位结构包括用于至少分别对基板的四个角进行对位的至少四个对位部件，每一所述对位部件包括用于对基板的相应的角的一侧边进行定位的第一定位臂和用于对基板的相应的角的另一侧边进行定位的第二定位臂。
7.根据权利要求6所述的基板反转装置，其特征在于，
所述基板反转装置还包括用于读取基板上的标记信息的读取单元。
8.根据权利要求7所述的基板反转装置，其特征在于，
所述读取单元设置于至少一个所述对位部件的第一定位臂和/或第二定位臂上。
9.根据权利要求8所述的基板反转装置，其特征在于，
所述读取单元以可移动地方式设置于至少一个所述对位部件的第一定位臂和/或第二定位臂上。
10.根据权利要求2所述的基板反转装置，其特征在于，
所述基板反转装置还包括用于感知所述工作台上的基板的状态的传感器，所述传感器设置于所述工作台的固定面上。
11.根据权利要求10所述的基板反转装置，其特征在于，所述传感器至少有四个，至少四个所述传感器分布于所述工作台的固定面的四个角上。

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