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一种基板搬送机械手设备

实用新型无效专利
  • 申请号:
    CN201120376597.1
  • IPC分类号:B65G49/06B65G43/08H01L21/67H01L21/683H01L21/677
  • 申请日期:
    2011-09-28
  • 申请人:
    北京京东方光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种基板搬送机械手设备
申请号CN201120376597.1申请日期2011-09-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G49/06IPC分类号B65G49/06;B65G43/08;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677查看分类表>
申请人北京京东方光电科技有限公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥路*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司当前权利人京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司
发明人曹宇;魏广伟;唐涛;李景泉
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司代理人申健
摘要
本实用新型公开一种基板搬送机械手设备,涉及液晶面板制造领域,能够对基板进行全面检测,避免后续工艺不良。该基板搬送设备,包括设备本体,机械手臂以及位于机械手臂上部的吸附模块,还包括:检测装置,固定安装在所述手臂上;驱动装置,固定安装在所述手臂一侧;处理装置,通过有线或无线方式与所述检测装置连接。本实用新型用于基板搬送。

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