一种宽度可调的硅片清洗花篮

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921286032.7
IPC分类号：--
申请日期：
2019-08-09
申请人：
河南中镜科仪科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种宽度可调的硅片清洗花篮
申请号	CN201921286032.7	申请日期	2019-08-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	河南中镜科仪科技有限公司	申请人地址	河南省开封市河南自贸试验区开封片区郑开大道296号自贸大厦A座702室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南中镜科仪科技有限公司	当前权利人	河南中镜科仪科技有限公司
发明人	郭新勇;董宝杰;王萍
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公布了一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于：包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板(1)和连接两个导向板(1)的定位销杆(2)，定位销杆(2)插到导向板两侧定位孔(4)上，通过螺母(5)固定，更换方便。一套导向板(1)可配备多套不同长度的定位销杆(2)，适用于清洗不同尺寸的硅片，节约成本。本实用新型的导向板(1)和定位销杆(2)的材质均采用聚四氟乙烯，既耐磨又容易清洗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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