MEMS模拟检波器机芯

发明专利有效专利

申请号：
CN201110185811.X
IPC分类号：G01V1/18;B81B7/02
申请日期：
2011-07-05
申请人：
西安思坦仪器股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	MEMS模拟检波器机芯
申请号	CN201110185811.X	申请日期	2011-07-05
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日	2011-12-14	公开/公告号	CN102279414A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01V1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01V 地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物（用于指示因事故被掩埋的人的位置，例如，被雪掩埋的人的位置的装置入A63B 29/02）〔4，6〕 G01V1/00 地震学；地震或声学的勘探或探测 G01V1/16 地震信号的接收元件；接收元件的配置或改进 G01V1/18 接收元件，例如，地震仪、地震检波器〔2〕	IPC分类号	G;0;1;V;1;/;1;8;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	西安思坦仪器股份有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新开发区科技五路22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安思坦仪器股份有限公司	当前权利人	西安思坦仪器股份有限公司
发明人	马永良;强明明
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	商宇科

摘要

本发明涉及一种MEMS模拟加速度检波器的机芯，该MEMS模拟检波器机芯包括信号转换器、阻抗转换器以及微机械震动系统；信号转换器通过阻抗转换器接入微机械震动系统。本发明提供了一种MEMS模拟检波器机芯，解决了阻尼源与惯性体相分离，无法使惯性体的质量和阻尼同时具有较好的一致性，因而无法保证传感器所采集到的波形的一致性，以及产品工艺精度及产品性能的一致性不易确保的技术问题。

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