一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02291589.3
IPC分类号：--
申请日期：
2002-12-20
申请人：
北京有色金属研究总院

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置
申请号	CN02291589.3	申请日期	2002-12-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京有色金属研究总院	申请人地址	北京市新街口外大街2号北京有色金属研究总院研发部变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京有色金属研究总院	当前权利人	北京有色金属研究总院
发明人	屠海令;张峰燚;石瑛;郑杰;周新民;朱力;马庆祥;王钺
代理机构	北京北新智诚知识产权代理有限公司	代理人	胡福恒

摘要

本实用新型公开了一种用于砷化镓单晶生长的光学测径装置，它包括图像采集部分、图像选择部分、图像处理部分及测量结果输出部分，各部分间通过数据传输线缆联接。图像采集部分为一架设在砷化镓单晶生长炉室观察窗外的数码摄像机；图像选择部分为一数字滤波器；图像处理部分为一可实现根据观察到的晶体的不连续弯月面计算出晶体直径的计算机；测量结果输出部分为一显示设备。本实用新型可以直接获得晶体直径的数据，避免由液封剂浮力变化、旋转机构转速变化、拉速变化、晶体重心与旋转轴不重合等原因造成的测量误差，使直径的测量值更加准确。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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