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镀膜方法及其镀膜装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210353668.5
IPC分类号：C23C14/58;C23C14/48
申请日期：
2012-09-21
申请人：
光驰科技（上海）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	镀膜方法及其镀膜装置
申请号	CN201210353668.5	申请日期	2012-09-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-01-30	公开/公告号	CN102899632A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/58 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/58 后处理〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;4;8查看分类表>
申请人	光驰科技（上海）有限公司	申请人地址	广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号1栋101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞汇驰真空制造有限公司	当前权利人	东莞汇驰真空制造有限公司
发明人	唐健;范宾;三浦俊彦;渡边优;黄志飞
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

关于在离子辅助方式的镀膜方法中，通过离子辅助难于提高形成的薄膜的致密化效果。在镀膜腔室１０中设置固定基板的基板支架２０，使镀膜材料在基板上沉积，在基板上形成镀膜材料的薄膜；进一步,使用具有浓度梯度的离子照射基板支架２０的整个区域，离子照射薄膜,对薄膜进行致密化。

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