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确定荧光标记的位置的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510124700.2
  • IPC分类号:G01N21/64;G01N23/00;G01N35/00
  • 申请日期:
    2005-11-09
  • 申请人:
    FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司
著录项信息
专利名称确定荧光标记的位置的方法
申请号CN200510124700.2申请日期2005-11-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2006-06-21公开/公告号CN1789982
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/64IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;6;4;;;G;0;1;N;2;3;/;0;0;;;G;0;1;N;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司申请人地址
美国俄勒冈州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人FEI公司当前权利人FEI公司
发明人B·布伊斯塞;R·F·M·亨德里克斯
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人杨凯;梁永
摘要
本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此,用激励光束(11)照射试样(4),同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时,标记被粒子束(3)碰撞,并被破坏,这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的,因此也就可以知道试样中标记的位置。

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