用于清洗和干燥半导体工件容器的设备和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200680045652.0
IPC分类号：B65G49/07
申请日期：
2006-11-30
申请人：
赛迈有限公司

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著录项信息

专利名称	用于清洗和干燥半导体工件容器的设备和方法
申请号	CN200680045652.0	申请日期	2006-11-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-30	公开/公告号	CN101616856
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G49/07 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G49/00 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 B65G49/05 用于易碎或易损的物料或物件〔4〕 B65G49/07 用于半导体晶片的〔5，8〕	IPC分类号	B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人	赛迈有限公司	申请人地址	美国蒙大拿州卡利斯比变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	赛迈有限公司	当前权利人	赛迈有限公司
发明人	杰夫·艾伦·戴维斯;兰迪·A·哈里斯
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	戴建波

摘要

一种用于清洗和干燥半导体晶片容器的设备包括具有固持件的装载口，固持件接收污染的容器并将其运送给甲板组件。载体接收容器以便进一步处理。具有第一末端执行器的机械手移去容器门并将其放置在载体的一部分上。机械手包括与载体相接合并且提升载体和容器以便将其插入到处理腔室中的第二末端执行器。处理腔室包括具有至少一个接收体的转子。旋转的转子产生高压区域和低压区域。提供处理流体给容器和载体。在冲洗阶段之后并且当转子旋转时，容器和载体被干燥。机械手随后从处理腔室移走容器和载体并将门重新组装到容器上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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