利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610970691.7
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2016-11-07
申请人：
南京大学

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著录项信息

专利名称	利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法
申请号	CN201610970691.7	申请日期	2016-11-07
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-11	公开/公告号	CN106324471A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市鼓楼区汉口路22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	黄竞;刘晓平
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	李媛媛

摘要

本发明为一种利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法，用于光学通信领域。该方法利用脉冲激光光源在半导体材料的表面形成明暗相间的干涉或者衍射条纹，产生瞬态载流子光栅，采集经过光栅的衍射光实现信号的测量。本发明的方法实现了对半导体器件任何部位的信号采集与测量，该过程无需将受测部位单独拿出，同时不会对器件造成损伤。此外，利用载流子的迁移与复合所导致载流子光栅会不断变化直至平衡的特性，通过测量信号光受载流子光栅的影响可以计算出材料的载流子迁移率与载流子寿命。

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