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基于MEMS的非等间距梳齿结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023278014.X
  • IPC分类号:G02B26/08;B81B7/02
  • 申请日期:
    2020-12-29
  • 申请人:
    无锡微视传感科技有限公司
著录项信息
专利名称基于MEMS的非等间距梳齿结构
申请号CN202023278014.X申请日期2020-12-29
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人无锡微视传感科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市锡山二泉东路集智广场14层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡微视传感科技有限公司当前权利人无锡微视传感科技有限公司
发明人孙其梁;徐乃涛;程进;张添添
代理机构无锡华源专利商标事务所(普通合伙)代理人聂启新
摘要
本实用新型公开了基于MEMS的非等间距梳齿结构,涉及微机电技术领域,包括围绕转轴旋转的上梳齿结构以及位于上梳齿结构下方的下梳齿结构,上梳齿结构包括若干个间隔设置的可动梳齿,且越远离转轴可动梳齿的梳齿间隙逐渐增大,下梳齿结构包括若干个等间隔设置的固定梳齿,可动梳齿与固定梳齿沿梳齿布置方向交错设置、互不接触,且可动梳齿的下边缘与固定梳齿的上边缘齐平,每个可动梳齿与其相邻右侧的固定梳齿的水平间距均不相等,根据水平间距设定值,对非等间距梳齿结构施加电压时,可动梳齿运动至对应的相邻固定梳齿间隙时,每个可动梳齿的中心点均保持在对应的相邻固定梳齿间隙的中轴线上。因此不会出现异常吸合,保证MEMS器件的可靠性。

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