OLED蒸镀装置及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201810226892.5
IPC分类号：--
申请日期：
2018-03-12
申请人：
昆山国显光电有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	OLED蒸镀装置及系统
申请号	CN201810226892.5	申请日期	2018-03-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-27	公开/公告号	CN108330438A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	昆山国显光电有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山国显光电有限公司	当前权利人	昆山国显光电有限公司
发明人	焦浩
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	唐清凯

摘要

本发明涉及一种OLED蒸镀装置及系统，OLED蒸镀装置与控制装置电连接。OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备。腔体内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备的腔室，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个蒸镀设备经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。腔体内还包括移动机构。控制装置用于通过移动机构控制不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各腔室的动作。该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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