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薄膜层叠体和电子元件

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610143245.5
  • IPC分类号:H01G4/30;H01G4/015;H01C7/18;H01F5/00;H01M10/00;H01L27/00;B32B15/00;B32B15/08
  • 申请日期:
    1998-03-12
  • 申请人:
    松下电器产业株式会社
著录项信息
专利名称薄膜层叠体和电子元件
申请号CN200610143245.5申请日期1998-03-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-06-06公开/公告号CN1975944
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01G4/30IPC分类号H;0;1;G;4;/;3;0;;;H;0;1;G;4;/;0;1;5;;;H;0;1;C;7;/;1;8;;;H;0;1;F;5;/;0;0;;;H;0;1;M;1;0;/;0;0;;;H;0;1;L;2;7;/;0;0;;;B;3;2;B;1;5;/;0;0;;;B;3;2;B;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人松下电器产业株式会社申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人松下电器产业株式会社当前权利人松下电器产业株式会社
发明人本田和义;越后纪康;小田桐优;砂流伸树
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人浦柏明;刘宗杰
摘要
一种形成薄膜的方法,在该方法中,在真空中在支撑体上形成金属等的薄膜时,在薄膜的形成之前,从喷嘴孔作为蒸汽流在薄膜上施加形成图形用的构图材料并在支撑体上附着了该液化物之后形成薄膜,这样来施加构图材料,使得从多个喷嘴孔施加的构图材料在支撑体上进行一体化。可形成即使图形宽度变宽、在图形端部处的模糊程度也小的图形。

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