半导体光电子器件和混合楔型波导模斑转换器集成器件

发明专利无效专利

申请号：
CN02141653.2
IPC分类号：--
申请日期：
2002-09-09
申请人：
中国科学院半导体研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体光电子器件和混合楔型波导模斑转换器集成器件
申请号	CN02141653.2	申请日期	2002-09-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-03-17	公开/公告号	CN1482492
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院半导体研究所	申请人地址	北京市海淀区清华东路肖庄变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院半导体研究所	当前权利人	中国科学院半导体研究所
发明人	邱伟彬;王圩
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汤保平

摘要

一种半导体光电子器件和混合楔型波导模斑转换器集成器件，该器件包括：一n型重掺杂磷化铟衬底；一负电极，该负电极制作在衬底下方；一n型掺杂磷化铟缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一有源器件，该有源器件制作在缓冲层上；一p型磷化铟盖层，该盖层制作在有源器件上；一p型重掺杂磷化铟接触层，该接触层制作在盖层上；一模斑转换器，该转换器制作在有源器件的入光端和输出端；一二氧化硅/二氧化钛增透膜，该增透膜制作在器件的输入和输出端；一正电极，该正电极制作在接触层的上方。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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