一种晶圆检测用除尘过滤装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920881147.4
IPC分类号：B01D46/30;B01D53/26;B08B5/02
申请日期：
2019-06-12
申请人：
无锡新微阳科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆检测用除尘过滤装置
申请号	CN201920881147.4	申请日期	2019-06-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D46/30 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D46/00 专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法（过滤元件入B01D 24/00至B01D 35/00；过滤材料入B01D 39/00；它们在过滤器外的再生入B01D 41/00） B01D46/30 采用疏松过滤材料的粒子分离器，如聚尘器	IPC分类号	B;0;1;D;4;6;/;3;0;;;B;0;1;D;5;3;/;2;6;;;B;0;8;B;5;/;0;2查看分类表>
申请人	无锡新微阳科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡新微阳科技有限公司	当前权利人	无锡新微阳科技有限公司
发明人	孙军
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及晶圆检测，公开了一种晶圆检测用除尘过滤装置，其技术方案要点是包括高压存储罐，高压存储罐上接通有输送管道，输送管道上连接有空气净化箱，空气净化箱上连接有通气管，通气管与输送管道位于空气净化箱相对的两侧壁上，通气管上连接有吹尘枪，空气净化箱内设有空气过滤棉，空气过滤棉垂直于通气管与输送管道之间的连线。本实用新型具有能够对输送管道和高压存储罐内的异物进行过滤，减少喷向晶圆的高速气流中的异物，在对晶圆表面的异物进行清理时，降低高压气流中的异物对晶圆造成影响的优点。

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