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X射线转换靶片、靶层板及靶层板的加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310517785.5
  • IPC分类号:H01J35/08;H01J35/12;H01J9/02;H01J9/18
  • 申请日期:
    2013-10-28
  • 申请人:
    中国科学院上海应用物理研究所
著录项信息
专利名称X射线转换靶片、靶层板及靶层板的加工方法
申请号CN201310517785.5申请日期2013-10-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-02-12公开/公告号CN103578896A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J35/08IPC分类号H;0;1;J;3;5;/;0;8;;;H;0;1;J;3;5;/;1;2;;;H;0;1;J;9;/;0;2;;;H;0;1;J;9;/;1;8查看分类表>
申请人中国科学院上海应用物理研究所申请人地址
上海市嘉定区宝嘉公路2019号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海应用物理研究所当前权利人中国科学院上海应用物理研究所
发明人何子锋;杨永金;黄建鸣;吴新时;李德明;张宇田;朱希恺
代理机构上海弼兴律师事务所代理人朱水平;杨东明
摘要
本发明公开了一种X射线转换靶片、靶层板及靶层板的加工方法,该X射线转换靶片包括转换层和导热层,该转换层设置于该导热层的上方,该转换层用于将电子束转换成X射线,该导热层用于将该转换层透射出的电子束转换成X射线和用于快速实现该转换层的热量在垂直扫描方向上的扩散。靶层板的加工方法包括以下步骤:S1、将若干个如上所述的X射线转换靶片分别弯曲形成一圆弧板;S2、将若干该圆弧板通过焊接形成一靶层板。该靶层板采用如上所述的加工方法制得。本发明提高了电子束能量的利用率,提高转换靶的转换效率;另外,提高了X射线转换靶片的散热能力和使用寿命;此外,使得熔点低,加工性能不好,但原子序数更高的材料得到应用。

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