检查装置和检查方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200810109792.0
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2008-06-17
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置和检查方法
申请号	CN200810109792.0	申请日期	2008-06-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-04	公开/公告号	CN101377536
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	山本保人;猪股勇
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供一种检查装置和检查方法，该检查装置(10)包括：使能够进行温度调节的载置台(11)进行升降的升降驱动机构(12)；控制升降驱动机构(12)的控制部，和具有多个探针(13A)的探针卡(13)，升降驱动机构(12)具有与载置台(11)连接的滚珠丝杠(14)和驱动该滚珠丝杠(14)以使载置台(11)进行升降的伺服马达(15)，控制部被用作伺服驱动器(16)，其具有对伺服马达(15)进行位置控制的位置控制部(161)、当探针卡(13)因温度变化而膨胀收缩时对伺服马达(15)进行扭转控制的扭转控制部(162)、以及切换位置控制部(161)和扭转控制部(162)的切换部(163)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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