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具有防止管壁堵塞功能的芯片洗净设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01116837.4
  • IPC分类号:H01L21/304;B08B3/04
  • 申请日期:
    2001-04-10
  • 申请人:
    华邦电子股份有限公司
著录项信息
专利名称具有防止管壁堵塞功能的芯片洗净设备
申请号CN01116837.4申请日期2001-04-10
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2002-11-13公开/公告号CN1379447
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;4查看分类表>
申请人华邦电子股份有限公司申请人地址
台湾省新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华邦电子股份有限公司当前权利人华邦电子股份有限公司
发明人施本成
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人任永武
摘要
一种芯片洗净设备,它增设有一自动清洗装置,可相应排液动作的触发使供气管路停止将气体通入洗净溶液,而将可溶解供气管路中的析出微粒的清洗液供入供气管路以进行管壁清洗,并切断压力式液面传感器输出至洗净溶液储存装置的液面高度信号,而于清洗完毕后使清洗液停止进入供气管路而停止管壁清洗,使气体重新进入供气管路,并恢复压力式液面传感器所输出至所述洗净溶液储存装置的液面高度信号,以通过管壁自动清洗而防止管壁堵塞。

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