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双面吸附的静电吸盘及其装配结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110666476.9
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2021-06-16
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称双面吸附的静电吸盘及其装配结构
申请号CN202110666476.9申请日期2021-06-16
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-10-29公开/公告号CN113571460A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市海淀区清华园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学当前权利人清华大学
发明人张鸣;成荣;朱煜;刘相波
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人王迎;袁文婷
摘要
本发明提供一种双面吸附的静电吸盘及其装配结构,其中的双面吸附的静电吸盘包括:基体、附着于基体表面的电极层,以及位于电极层远离基体侧的介电层;其中,电极层包括镀设在基体的上表面的上电极以及镀设在基体的下表面的下电极;介电层包括设置在上电极远离基体一侧的上介电层以及设置在下电极远离基体一侧的下介电层;待吸附产品通过上电极吸附在静电吸盘上,静电吸盘通过下电极吸附在底座上,可通过销孔加强静电吸盘与底座的连接。利用上述双面吸附的静电吸盘及其装配机构能够降低局部应变对产品造成的影响,并适用于各种应用环境。

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