一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410788477.0
IPC分类号：C23F4/00
申请日期：
2014-12-17
申请人：
中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所

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著录项信息

专利名称	一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法
申请号	CN201410788477.0	申请日期	2014-12-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-08	公开/公告号	CN104498957A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F4/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F4/00 不包含在C23F 1/00或C23F 3/00组中的表面除去金属材料的工艺〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;4;/;0;0查看分类表>
申请人	中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所	申请人地址	北京市朝阳区八里桥北东军庄1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国航空制造技术研究院	当前权利人	中国航空制造技术研究院
发明人	王达望;李淑青;马国佳;孙刚
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	姚亮

摘要

本发明提供了一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法。该制备方法包括：对钛合金样品分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到表面干净的钛合金样品；对表面干净的钛合金样品的表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到具有超疏水微纳结构表面的钛合金样品；其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为100μJ‑800μJ，脉冲宽度为100fs‑500fs，中心波长为500nm‑1000nm，重复频率为500Hz‑2kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为0.5μm‑300μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，x、y方向的移动定位精度为50nm‑100nm，z方向上的移动定位精度为5nm‑10nm。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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