一种力敏谐振元件

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320579616.X
IPC分类号：G01L9/00;G01L1/00;G01L23/08;B81C1/00
申请日期：
2013-09-18
申请人：
中国电子科技集团公司第二十六研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种力敏谐振元件
申请号	CN201320579616.X	申请日期	2013-09-18
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00）	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;0;0;;;G;0;1;L;1;/;0;0;;;G;0;1;L;2;3;/;0;8;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第二十六研究所	申请人地址	重庆市南岸区南坪花园路14号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第二十六研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第二十六研究所
发明人	林丙涛;赵建华;董宏奎
代理机构	重庆博凯知识产权代理有限公司	代理人	李海华

摘要

本实用新型公开了一种力敏谐振元件，包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振梁上每面的凹槽至少包括位于谐振梁两端的端部凹槽，每个端部凹槽由两侧平行的端部深凹槽和位于两个端部深凹槽之间且与两个端部深凹槽连为一体的端部浅凹槽构成。本力敏谐振元件电极的作用面距离短，谐振梁内的场强增大，电极的激励效率提高，更适于传感器微型化制作。设置深凹槽，增加凹槽的侧壁陡直度，以便提高电极的激励效率，使得谐振梁的激振效率更高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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