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具有洗边装置的显影机台

发明专利有效专利

申请号：
CN200410039515.9
IPC分类号：G03F7/32;G02F1/1333
申请日期：
2004-02-05
申请人：
友达光电股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有洗边装置的显影机台
申请号	CN200410039515.9	申请日期	2004-02-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-29	公开/公告号	CN1558294
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/30 用液体消除影像的〔5〕 G03F7/32 所用的液体成分，例如，显影剂〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;2;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;3查看分类表>
申请人	友达光电股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	友达光电股份有限公司	当前权利人	友达光电股份有限公司
发明人	赖俊谷;吴鸿玮
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	董惠石

摘要

一种具有洗边装置的显影机台，利用一输送带，传送玻璃基板浸入位于显影槽内的显影液，以对玻璃基板表面的光阻层进行显影。此显影机台具有一洗边滚轮，设置于输送带的侧边，以接触方式滚动剥除位于玻璃基板上表面边缘处的光阻层。本发明克服了公知技术中存在的缺陷，在旧有的显影机台搭配简单的洗边装置，即可达到洗边的目的，因此，降低了洗边制程所需的成本，提高了生产效率。

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