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具有接合垫的金属氧化物半导体影像感测器及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200710148569.2
  • IPC分类号:H01L21/822;H01L21/60;H01L27/146;H01L23/485
  • 申请日期:
    2007-08-29
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称具有接合垫的金属氧化物半导体影像感测器及其形成方法
申请号CN200710148569.2申请日期2007-08-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2008-07-30公开/公告号CN101231971
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/822
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;5查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人刘铭棋;傅士奇;刘源鸿;陈威智;罗际兴
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人陈晨
摘要
本发明提供一种具有接合垫的互补式金属氧化物半导体影像感测器及其形成方法,上述互补式金属氧化物半导体影像感测器包括:半导体衬底,具有像素区域以及电路区域;钝化层,位于该半导体衬底上,该钝化层具有开口;以及接合垫,位于该电路区域中,其中该接合垫不延伸于该钝化层的上方。本发明可明显降低接合垫与钝化层之间的高度差,因此可消除半导体衬底上因旋转涂布导致的散射缺陷,并可降低平坦化层的厚度从而提高CMOS影像感测器的光学性能。

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