一种多晶硅片的制绒方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310155993.5
IPC分类号：C30B33/10;C23F1/24;H01L31/18
申请日期：
2013-04-27
申请人：
竺峰

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著录项信息

专利名称	一种多晶硅片的制绒方法
申请号	CN201310155993.5	申请日期	2013-04-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-08-28	公开/公告号	CN103266355A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0;;;C;2;3;F;1;/;2;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	竺峰	申请人地址	浙江省宁波市江北区海川路66号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波市富星电子有限公司	当前权利人	宁波市富星电子有限公司
发明人	孙励斌;竺峰
代理机构	宁波诚源专利事务所有限公司	代理人	景丰强

摘要

一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸40%～55%；氢氟酸8%～12%；添加剂0.1%～0.5%；水32.5%～51.9%；添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂10%～15%；亚硝酸盐5%～10%；水75%～85%。本发明还公开了利用制绒剂的制绒方法。本发明的制绒剂使用寿命较长，制绒时能有效减缓腐蚀速率，提高制绒质量。

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