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一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811478990.4
  • IPC分类号:G01P15/093
  • 申请日期:
    2018-12-05
  • 申请人:
    武汉大学
著录项信息
专利名称一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法
申请号CN201811478990.4申请日期2018-12-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-03-29公开/公告号CN109541259A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/093IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;0;9;3查看分类表>
申请人武汉大学申请人地址
湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉大学当前权利人武汉大学
发明人徐沁文;张一;蔡耀;谢英;孙成亮
代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人张火春
摘要
本发明公开了一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法,光学式加速度传感器从下往上依次包括衬底、振动顶层、振动块和光学敏感元件,本发明首先在衬底上刻蚀出空腔,然后在空腔内填充牺牲层,之后在衬底上沉积振动顶层,在振动顶层上沉积振动块,然后在振动顶层上刻蚀释放孔,通过释放孔将牺牲层腐蚀掉形成振动空腔。本发明灵敏度高,光在光导中的能量损耗较低,该传感器具有较高的品质因子。本发明的加速度传感器还具有能与CMOS工艺兼容、体积小等优点。

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