一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820120827.X
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2018-01-24
申请人：
清华大学深圳研究生院

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专利名称	一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置
申请号	CN201820120827.X	申请日期	2018-01-24
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	清华大学深圳研究生院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学深圳研究生院	当前权利人	清华大学深圳研究生院
发明人	李星辉;周倩;肖翔;倪凯;王欢欢;冒新宇;曾理江;苏晓;王晓浩
代理机构	深圳新创友知识产权代理有限公司	代理人	方艳平

摘要

本实用新型公开了一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置，包括光源、分束镜、参考点掩膜、参考点编码带、光电探测器和信号处理计算机，参考点掩膜包括多个宽度相等的第一矩形块，多个第一矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列；参考点编码带包括多组参考点组，每组参考点组包括两个参考点编码区，每个参考点编码区包括多个宽度相等的第二矩形块，多个第二矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列，两个参考点编码区沿着第二矩形块的宽度方向间隔排列，多组参考点组沿着第二矩形块的宽度方向等间距排列，且第一矩形块和第二矩形块均能够吸收或反射光线。本实用新型能够避免光栅尺增量位移误差和参考点检测误差的干扰，提高参考点绝对位置判断的可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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