制造纳米结构化柱形轧辊的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201780057092.9
IPC分类号：C25D5/02;C25D17/00;H01L21/027;G03F7/00;B21B27/02
申请日期：
2017-09-12
申请人：
3M创新有限公司

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著录项信息

专利名称	制造纳米结构化柱形轧辊的方法
申请号	CN201780057092.9	申请日期	2017-09-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-21	公开/公告号	CN109790639A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D5/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D5/00 以工艺方法为特征的电镀；工件的预处理或后处理〔2〕 C25D5/02 局部表面上的电镀〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;5;/;0;2;;;C;2;5;D;1;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;B;2;1;B;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	3M创新有限公司	申请人地址	美国明尼苏达州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	3M创新有限公司	当前权利人	3M创新有限公司
发明人	詹姆斯·朱;丹尼尔·M·伦茨;卡尔·K·斯腾斯瓦德;戴维·J·塔尔诺夫斯基
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	穆德骏;安翔

摘要

本发明提供了一种使柱形工具图案化的方法，其包括：提供压模，所述压模包括基部和在所述基部上的固态离子导体的层；将预定特征图案的负片施加到所述固态离子导体的主表面；提供具有金属表面的柱形工具，使所述金属表面定位在所述压模附近；以及在所述金属表面和阴极之间施加电场，同时抵靠所述金属表面以滚动线接触的方式移动所述压模，以便将所述预定特征图案赋予到所述金属表面上，其中所述阴极为所述基部或与所述基部相邻定位的导电元件。所述预定特征图案的所述正片可包括多个纳米级特征。

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