用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器

发明专利无效专利

申请号：
CN201010152286.7
IPC分类号：B01D46/00
申请日期：
2010-04-22
申请人：
河北工业大学

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著录项信息

专利名称	用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器
申请号	CN201010152286.7	申请日期	2010-04-22
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-08-25	公开/公告号	CN101810976A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D46/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D46/00 专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法（过滤元件入B01D 24/00至B01D 35/00；过滤材料入B01D 39/00；它们在过滤器外的再生入B01D 41/00）	IPC分类号	B;0;1;D;4;6;/;0;0查看分类表>
申请人	河北工业大学	申请人地址	天津市红桥区丁字沽光荣道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河北工业大学	当前权利人	河北工业大学
发明人	解新建;王玉崎
代理机构	天津翰林知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	胡安朋

摘要

本发明用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器，涉及专门用于把弥散粒子从气体中分离出来的采用刚性空心滤体的粒子分离器，由外壳、堵塞物、隔离网、筛网和夹具构成，外壳是圆柱形的中空水套，堵塞物是卷成圆柱状不锈钢网或不锈钢丝的球状物，隔离网是由不锈钢丝制成，筛网是6～10层耐腐蚀金属丝网，堵塞物直接放置在过滤器进气口一端的外壳内部，隔离网直接放置在外壳内部位于堵塞物与夹具之间的位置，筛网分层安置在过滤器出气口一端，通过夹具固定在外壳内部。本发明降低甚至消除氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓过程中产生的氯化铵粉尘、镓蒸气和氯化镓蒸气，保护了操作人员、环境和真空泵，优化生产工艺和氮化镓的生长质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN101957276A	2011-01-26	2009-07-21	高温烟气取样方法及装置无效专利	中铝国际技术发展有限公司
2	CN201333364Y	暂无	2009-01-04	蜂窝式高温气体粉尘过滤装置失效专利	株洲硬质合金集团有限公司
3	CN201020331Y	暂无	2007-02-26	真空冷却过滤装置失效专利	宝山钢铁股份有限公司

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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