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暗视野像差矫正电子显微镜

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201180008909.6
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2011-02-10
  • 申请人:
    摩奇有限公司(d/b/aVoxa)
著录项信息
专利名称暗视野像差矫正电子显微镜
申请号CN201180008909.6申请日期2011-02-10
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日2014-06-04公开/公告号CN103843105A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人摩奇有限公司(d/b/aVoxa)申请人地址
美国华盛顿州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人摩奇有限公司(d/b/aVoxa)当前权利人摩奇有限公司(d/b/aVoxa)
发明人克里斯多夫·书源翁;安德鲁·布利罗齐;保罗·约翰·达布罗维斯基
代理机构广东广和律师事务所代理人王峰
摘要
一种穿透式电子显微镜,包括一电子束源(20)以产生一电子束,以电子束用光学组件聚集该电子束;一像差矫正器(90)至少矫正该电子束之球面像差;一位于该电子束路径上的一试片座,用来设置一试片(40);一侦测器(80)用于侦测穿过该试片之电子束。该穿透式电子显微镜操作于晴视野模式下,其中第零阶电子束并不予以侦测。该穿透式电子显微镜并可操作在非同调照射模式下。

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