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一种柔性显示器的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410204555.8
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2014-05-15
  • 申请人:
    深圳市华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称一种柔性显示器的制作方法
申请号CN201410204555.8申请日期2014-05-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-08-13公开/公告号CN103985665A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人深圳市华星光电技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市华星光电技术有限公司当前权利人深圳市华星光电技术有限公司
发明人苏长义;郑扬霖
代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)代理人刁文魁;唐秀萍
摘要
本发明适用于显示器领域,提供了一种柔性显示器的制作方法包括以下步骤:在刚性基板上形成一硅层;经由曝光制程及蚀刻制程将所述硅层做成框型硅层;在形成有框型硅层的刚性基板表面上贴附柔性基板;制作显示器件层于所述柔性基板上;在完成显示器件层后,对框型硅层进行脱氢处理,以使得所述柔性基板与所述框型硅层分开,从而得到柔性显示器。本发明可以避免柔性基板在分离工艺中损坏造成良率的问题。

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