振动器以及振动陀螺仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201280035321.4
IPC分类号：G01C19/5621;H01L41/08;H01L41/18
申请日期：
2012-07-31
申请人：
株式会社村田制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	振动器以及振动陀螺仪
申请号	CN201280035321.4	申请日期	2012-07-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103688136A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5621 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5607 使用振动音叉（利用平面振动部件使两端悬浮的双端音叉G01C 19/5719）〔2012.01〕 G01C19/5621 包含微机械结构的装置〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;2;1;;;H;0;1;L;4;1;/;0;8;;;H;0;1;L;4;1;/;1;8查看分类表>
申请人	株式会社村田制作所	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社村田制作所	当前权利人	株式会社村田制作所
发明人	藤本克己;米田年麿;羽田拓生;堀内秀哉
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李逸雪

摘要

实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置，X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸，且与基端侧锤部(3)连结。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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