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调焦调平测量系统及其测量方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710171968.0
  • IPC分类号:G03F7/20G03F9/00
  • 申请日期:
    2007-12-07
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称调焦调平测量系统及其测量方法
申请号CN200710171968.0申请日期2007-12-07
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2008-05-28公开/公告号CN101187783
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G03F7/20;G03F9/00查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路15*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备有限公司当前权利人上海微电子装备有限公司
发明人关俊
代理机构上海思微知识产权代理事务所代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明公开了一种调焦调平测量系统及其测量方法。该测量系统包括物光栅、第一成像系统、第二成像系统、探测光栅和探测模块,第一成像系统可将物光栅经光束照明成像于被测对象以形成第一光栅像,第二成像系统可将第一光栅像成像于探测光栅以形成第一探测像,第一探测像与探测光栅叠加形成第一莫尔条纹,第一莫尔条纹被探测模块探测,探测模块的位置信息固定,被测对象的位置信息表现于第一莫尔条纹相对于探测模块的位置信息。

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