基板的偏心降低方法及示教装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010771262.3
IPC分类号：H01L21/66;H01L21/67;G01B11/27
申请日期：
2020-08-04
申请人：
株式会社斯库林集团

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著录项信息

专利名称	基板的偏心降低方法及示教装置
申请号	CN202010771262.3	申请日期	2020-08-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-02-23	公开/公告号	CN112397407A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;G;0;1;B;1;1;/;2;7查看分类表>
申请人	株式会社斯库林集团	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社斯库林集团	当前权利人	株式会社斯库林集团
发明人	犹原英司;增井达哉
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	金辉;崔炳哲

摘要

本发明提供一种能够避开缺口测量基板周边的位置，并高精度地降低基板的偏心量的技术。在第一工序中使基板(W)旋转。在第二工序中，摄像头依次拍摄基板的周边，获取多个图像(IM1)。在第三工序中，针对多个图像执行缺口检测处理。在第四工序中，将在多个图像内沿着第一轴延伸的测量区域(MR1)在第二轴上的位置设定为：测量区域在多个图像的任一个中均不包含缺口(NT1)而包含基板的周边。在第五工序中，针对包含基板的旋转位置和测量区域中的基板的周边的位置的绘图点，进行曲线插值处理求出正弦波。在第六工序中，根据该正弦波求出以缺口的位置为基准的基板的偏心。在第七工序中使基板移动，以降低基板的偏心。

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