基于MEMS振镜的激光雷达的校准系统和消除图像晃动的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110513021.3
IPC分类号：G01S7/497
申请日期：
2021-05-11
申请人：
苏州深水渔半导体有限公司

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著录项信息

专利名称	基于MEMS振镜的激光雷达的校准系统和消除图像晃动的方法
申请号	CN202110513021.3	申请日期	2021-05-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-13	公开/公告号	CN113253245A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01S7/497 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01S 无线电定向；无线电导航；采用无线电波测距或测速；采用无线电波的反射或再辐射的定位或存在检测；采用其他波的类似装置 G01S7/00 与G01S 13/00，G01S 15/00，G01S 17/00各组相关的系统的零部件 G01S7/48 与G01S 17/00组相应的系统的 G01S7/497 监测或校准装置〔6〕	IPC分类号	G;0;1;S;7;/;4;9;7查看分类表>
申请人	苏州深水渔半导体有限公司	申请人地址	江苏省苏州市太仓市大连东路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州深水渔半导体有限公司	当前权利人	苏州深水渔半导体有限公司
发明人	侯继东
代理机构	苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	马小慧

摘要

发明公开了一种基于静电电压驱动的MEMS振镜的激光雷达的校准系统以及消除由于外界震动导致的图像失真方法，包括：采用CCD获得MEMS振镜的最佳共振频率和最大驱动幅度。获取校准时没有外界震动时的激光光斑在CCD上的光斑成像坐标和激光探测角度的关系，以消除由于外界震动导致的图像失真。发明的有益效果：本发明使MEMS激光雷达的校准非常简便，消除了由于应力释放、电压偏移、器件老化等因素带来的性能劣化。同时依靠本发明可以消除因外界震动引起的图像扭曲或不可识别的问题。采用本方案后，激光雷达图像的形成并不要求对振镜的旋转角度和驱动电压的线性关系。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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