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一种强脉冲极紫外光源系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110303927.2
  • IPC分类号:G03F7/20;H05G2/00
  • 申请日期:
    2021-03-22
  • 申请人:
    芶富均
著录项信息
专利名称一种强脉冲极紫外光源系统
申请号CN202110303927.2申请日期2021-03-22
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-28公开/公告号CN112859547A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;5;G;2;/;0;0查看分类表>
申请人芶富均申请人地址
贵州省贵阳市花溪区贵州大学北区教职工集体宿舍 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人芶富均当前权利人芶富均
发明人芶富均;陈波;陈建军
代理机构成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人夏琴
摘要
本发明公开了一种强脉冲极紫外光源系统,其等离子体源与真空腔室相连通,电极靶设置于真空腔室内腔下部,等离子体源与等离子体电源电连接,等离子体源具有进气口,等离子体源位于进气口下部区域具有放电区,放电区下部具有喷嘴,进气口通过放电区与喷嘴连通,喷嘴侧面连通有导气口,喷嘴底部具有喷口,真空腔室顶部具有顶部开口,喷口与顶部开口连通,喷嘴所在区域外侧套装有第一线圈,电极靶所在区域外侧套装有第二线圈,第一线圈和第二线圈通过线圈电源提供电源,真空腔室侧面具有引出口,真空腔室底部与真空泵连通,真空腔室与接地端电连接,解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。

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