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用于打薄设有部件的固体层的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880026415.2
  • IPC分类号:B23K26/00;B28D5/00;B23K26/53;B23K26/0622;H01L21/02;B23K103/00
  • 申请日期:
    2018-01-15
  • 申请人:
    西尔特克特拉有限责任公司
著录项信息
专利名称用于打薄设有部件的固体层的方法
申请号CN201880026415.2申请日期2018-01-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-02-07公开/公告号CN110769967A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/00IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;0;;;B;2;8;D;5;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;5;3;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;B;2;3;K;1;0;3;/;0;0查看分类表>
申请人西尔特克特拉有限责任公司申请人地址
德国德累斯顿 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西尔特克特拉有限责任公司当前权利人西尔特克特拉有限责任公司
发明人马尔科·斯沃博达;拉尔夫·里斯克;克里斯蒂安·拜尔;扬·黎克特
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人丁永凡;张春水
摘要
本发明涉及一种用于将至少一个固体层(4)与至少一个固体(1)分离的方法。根据本发明的方法在此包括如下步骤:借助于激光束在固体(1)的内部产生多个改性部(9),用于构成剥离平面(8);通过在固体(1)的首先露出的表面(5)处或之上设置或产生层和/或部件(150),产生复合结构,其中露出的表面(5)是要分离的固体层(4)的组成部分;将外力导入到固体(1)中,以在固体(1)中产生应力,其中外力是如此大的,使得应力引起沿着剥离平面(8)的裂纹扩展,其中在产生复合结构之前产生用于构成剥离平面(8)的改性部。

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