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全铝型静电驱动微镜及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310222500.5
  • IPC分类号:G02B26/08;G03F7/00
  • 申请日期:
    2013-06-06
  • 申请人:
    上海交通大学
著录项信息
专利名称全铝型静电驱动微镜及其制备方法
申请号CN201310222500.5申请日期2013-06-06
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-10-02公开/公告号CN103336363A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人上海交通大学申请人地址
上海市闵行区东川路800号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海交通大学当前权利人上海交通大学
发明人李以贵;李新鹏
代理机构上海汉声知识产权代理有限公司代理人郭国中
摘要
本发明提供了一种全铝型静电驱动微镜,包括:微镜、支柱、下电极,其连接方式为:最上层为微镜,中间为支柱,下层为下电极,微镜与下电极通过支柱连接和支撑;微镜、支柱、下电极均采用全铝结构,微镜兼做反射镜和上电极,堆积层少。本发明结构、工艺简单,易于实现,成本低廉,完全静电驱动,可以实现连续角度偏转,应用广泛,方便推广;另外本发明的全铝镜面提高镜面反射面积效率,不但可以用于扫描,还可以用于显影与光通信。

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