附着在固体上并用于增强CMP配方的形成自由基的活化剂

发明专利无效专利

申请号：
CN03807995.X
IPC分类号：C09G1/02;C09G1/04;B24B1/00
申请日期：
2003-02-11
申请人：
杜邦空中产品纳米材料公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	附着在固体上并用于增强CMP配方的形成自由基的活化剂
申请号	CN03807995.X	申请日期	2003-02-11
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2005-07-27	公开/公告号	CN1646650
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/02 含有磨料或研磨剂	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;2;;;C;0;9;G;1;/;0;4;;;B;2;4;B;1;/;0;0查看分类表>
申请人	杜邦空中产品纳米材料公司	申请人地址	美国宾夕法尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	空气化工产品股份有限公司	当前权利人	空气化工产品股份有限公司
发明人	R·J·斯莫尔;B·S·斯考特
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	张平元

摘要

本发明提供一种用于化学机械抛光的组合物，其包括至少一种具有部分被活化剂涂布的表面的磨料颗粒。该活化剂包括一种除4(b)族、5(b)族或6(b)族的金属以外的金属。组合物进一步包括至少一种氧化剂。由于在活化剂表面，涂布在磨料颗粒表面的活化剂与氧化剂之间相互反应生成自由基，组合物被认为是有效的。本发明进一步提供一种用该组合物抛光衬底表面的部件或层，例如金属薄膜的方法。本发明还提供一种由此方法制造的衬底。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供