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一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910095421.X
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/52
  • 申请日期:
    2019-01-31
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备
申请号CN201910095421.X申请日期2019-01-31
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2019-06-14公开/公告号CN109881180A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人陈蓉;曲锴;单斌;刘潇;李嘉伟;张晶
代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青;李智
摘要
本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。

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