蒸镀装置及蒸镀方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810524337.0
IPC分类号：C23C14/26;C23C14/54;H01L51/56
申请日期：
2018-05-28
申请人：
深圳市华星光电技术有限公司

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著录项信息

专利名称	蒸镀装置及蒸镀方法
申请号	CN201810524337.0	申请日期	2018-05-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-02	公开/公告号	CN108728801A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/26 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/26 电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人	深圳市华星光电技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	TCL华星光电技术有限公司	当前权利人	TCL华星光电技术有限公司
发明人	匡友元
代理机构	深圳市德力知识产权代理事务所	代理人	林才桂;鞠骁

摘要

本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。

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