适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011204692.3
IPC分类号：B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H05F3/06
申请日期：
2020-11-02
申请人：
江苏科沛达半导体科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法
申请号	CN202011204692.3	申请日期	2020-11-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-01-26	公开/公告号	CN112264371A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;H;0;5;F;3;/;0;6查看分类表>
申请人	江苏科沛达半导体科技有限公司	申请人地址	江苏省徐州市邳州市经济开发区非晶产业园1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏科沛达半导体科技有限公司	当前权利人	江苏科沛达半导体科技有限公司
发明人	李继忠;李述周
代理机构	北京科家知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	宫建华

摘要

本发明公开了一种适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法，该清洗装置包括箱体，箱体的内腔由左往右依次分为上料区、清洗区、热风干燥区和下料区，清洗区的下部设有电导率检测区，上料区中转动支撑有若干上料卷盘，清洗区的上部左侧区域设有内置喷淋头的预喷淋区，中间区域设有内置水刀的水刀喷洗区，右侧区域设有内置二流体喷嘴的二流体喷洗区，以及内置风刀的除水区，热风干燥区中设有热风机，下料区中转动支撑有若干下料卷盘，上料区和下料区均固定有静电消除器。本发明利用二氧化碳来增加水的带电度，进而增加清洗能力，再利用高压水刀及二流体喷嘴产生高压流体进行一次与二次物理冲洗，提高清洗效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供