硅烷尾气排放系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023062525.8
IPC分类号：F23G7/06
申请日期：
2020-12-17
申请人：
浙江东开半导体科技有限公司

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著录项信息

专利名称	硅烷尾气排放系统
申请号	CN202023062525.8	申请日期	2020-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F23G7/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F23 燃烧设备；燃烧方法 F23G 焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁 F23G7/00 专门适用于焚烧特殊废物或低品位燃料（例如化学制品）的方法或设备，例如焚化炉（F23G 1/00优先；焚化式便器入A47K 11/02；淤渣的氧化入C02F 11/06；放射性废料的焚化入G21F 9/00）〔4，8〕 F23G7/06 处理废气或秽气的，例如排气（带有使排气变为无害的装置的发动机排气设备，例如通过加热转化或催化转化入F01N 3/08；处理来自燃烧固体或液体燃料的设备的初始燃烧未尽物质的燃烧的入F23B，F23C）〔4〕	IPC分类号	F;2;3;G;7;/;0;6查看分类表>
申请人	浙江东开半导体科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江东开半导体科技有限公司	当前权利人	浙江东开半导体科技有限公司
发明人	隋英羿
代理机构	杭州裕阳联合专利代理有限公司	代理人	田金霞

摘要

本实用新型公开了硅烷尾气排放系统，涉及环保技术领域，包括尾气排放管道和竖直设置的燃烧管，所述尾气排放管一端与燃烧管连接，尾气排放管另一端用于连接气体供应设备；所述燃烧管一端与尾气排放管道连接，燃烧管另一端倾斜设有弯管，所述弯管与尾气排放管道之间的夹角为90～135°。燃烧管的设置避免将尾气输送至工厂的燃烧塔进行处理，节约了成本。弯管的设置使燃烧管处于半开放状态，避免尾气在密闭空间内燃烧存在的爆炸风险，同时避免燃烧后的粉尘扩散进大气中，污染环境。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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