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液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02105963.2
  • IPC分类号:G02F1/1333;C03C15/02
  • 申请日期:
    2002-04-11
  • 申请人:
    西山不锈化学股份有限公司
著录项信息
专利名称液晶玻璃基板的化学抛光方法及化学抛光装置
申请号CN02105963.2申请日期2002-04-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2002-11-20公开/公告号CN1380572
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/1333IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;3;3;;;C;0;3;C;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人西山不锈化学股份有限公司申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西山不锈化学股份有限公司当前权利人西山不锈化学股份有限公司
发明人西山智弘;出口干郎;丝川胜博;小谷诚;沟口幸一
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人王杰
摘要
本发明提供一种能使液晶玻璃基板循环再利用、对于液晶玻璃基板进行化学抛光的方法及化学抛光装置。所使用的化学抛光液由氢氟酸及其盐的混合液(其中的氢氟酸盐为氟化铵、氟化钾和氟化钠中的任一种或者多种),盐酸、硫酸、磷酸和硝酸等无机酸的一种或多种,醋酸和琥珀酸等有机酸的一种或者其混合物,磺酸盐类阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂组成。

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