一种氧化锆复合磨料的制备工艺及研磨液

发明专利有效专利

申请号：
CN202010441370.4
IPC分类号：C09K3/14C09G1/02
申请日期：
2020-05-22
申请人：
浙江中晶科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种氧化锆复合磨料的制备工艺及研磨液
申请号	CN202010441370.4	申请日期	2020-05-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-01	公开/公告号	CN111607359A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09K3/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09K 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 C09K3/00 不包含在其他类目中的材料〔2〕 C09K3/14 防滑材料；研磨材料（含高分子物质的磨料或摩擦体或者成型磨料的制造入C08J 5/14）〔4〕	IPC分类号	C09K3/14;C09G1/02查看分类表>
申请人	浙江中晶科技股份有限公司	申请人地址	浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江中晶科技股份有限公司	当前权利人	浙江中晶科技股份有限公司
发明人	郭兵健;刘小磐;徐一俊;何国君;吴晓峰
代理机构	长沙正奇专利事务所有限责任公司	代理人	马强;胡凌云

摘要

本发明涉及一种新型氧化锆复合磨料的制备工艺及研磨液，先制备氧化锆复合磨料有机前驱溶胶；再对有机前驱溶胶的造粒；然后烧结，获得氧化锆复合磨料。本发明制备的氧化锆复合磨料由无数微小的氧化锆颗粒通过晶界处的硼铝酸盐熔体粘接而成，虽宏观尺寸较大，在研磨硅片过程中氧化锆复合磨料沿玻璃结合界面断裂，磨料的磨损为微量破碎式磨损，在磨削的过程中不断地破损产生大量的、新的、细小的磨削刃，该复合磨料，具有很高的自锐性，磨削效率比氧化铝磨料提高30%以上；另外，被研磨物体表面为大量细小的研磨痕，研磨后的工件的表面粗糙度值更低，而且使用过程中可以提供稳定一致的磨削量，能够有效地兼顾磨削效率和被磨削工件的表面质量。