真空夹具

发明公开有效专利

申请号：
CN201410066928.X
IPC分类号：B25B11/00
申请日期：
2014-02-26
申请人：
盛美半导体设备(上海)有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	真空夹具
申请号	CN201410066928.X	申请日期	2014-02-26
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2015-08-26	公开/公告号	CN104858806A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25B11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25B 不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备 B25B11/00 不包含在B25B 1/00至B25B 9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置（用于焊接、钎焊或通过局部加热而进行切割的工件的夹持或定位入B23K 37/04；专门用于机床的入B23Q 3/00）	IPC分类号	B;2;5;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	盛美半导体设备(上海)有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盛美半导体设备(上海)有限公司	当前权利人	盛美半导体设备(上海)有限公司
发明人	贾照伟; 王坚; 王晖
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陆嘉

摘要

本发明揭示了一种真空夹具，包括一夹具本体，夹具本体上开设有数段凹槽，每段凹槽为独立的凹槽区，每段凹槽内开设有贯穿夹具本体的第一真空孔，各段凹槽内分别设置有密封件，每一密封件开设有第二真空孔，第二真空孔与该段凹槽内的第一真空孔相连通，各第一真空孔分别与一组管路结构相连接，每一组管路结构包括排气管路和进气管路。本发明通过设置数段彼此独立的凹槽，这样即使其中一段凹槽发生真空泄漏，也不会影响真空夹具夹持硅片，此外，本发明通过设置进气管路，实现了硅片上下两个平面之间的气体压强差可调，使真空夹具能够稳固、安全地夹持超薄硅片。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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