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工艺气体供应部

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610069411.5
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2016-02-01
  • 申请人:
    TGO科技株式会社
著录项信息
专利名称工艺气体供应部
申请号CN201610069411.5申请日期2016-02-01
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2016-08-10公开/公告号CN105839075A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人TGO科技株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人TGO科技株式会社当前权利人TGO科技株式会社
发明人延世熏;李裕进;李在鹤
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人姜虎;陈英俊
摘要
本发明涉及一种工艺气体供应部,其包括:外管,提供第一工艺气体流动所需的通道;第一内管,位于外管的内部,提供第二工艺气体流动所需的通道;气体反应部,位于外管的上部,收纳金属源,通过第二工艺气体和金属源反应,以生成第三工艺气体;第二内管,位于外管的内部,提供第三工艺气体流动所需的通道;第三内管,位于外管的内部,提供第四工艺气体流动所需的通道;至少一个第一气体喷射部,将在外管流动的第一工艺气体供应至外管外部的处理空间;至少一个第二气体喷射部,将在第二内管流动的第三工艺气体供应至外管外部的处理空间;至少一个第三气体喷射部,将在第三内管流动的第四工艺气体供应至外管外部的处理空间。

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