显示装置的制造方法和显示装置的制造装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200510084430.7
IPC分类号：H01L27/12;H01L21/84;H01L21/768;H01L21/28;G09F9/30;G02F1/133
申请日期：
2005-07-15
申请人：
三菱电机株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	显示装置的制造方法和显示装置的制造装置
申请号	CN200510084430.7	申请日期	2005-07-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-01-18	公开/公告号	CN1722451
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/02 包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的〔2〕 H01L27/12 其衬底为非半导体的，例如为绝缘体的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;8;4;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;;;G;0;9;F;9;/;3;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱电机株式会社	当前权利人	三菱电机株式会社
发明人	日野辉重;田上和昭;柴田英次;小田拓嗣
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	浦柏明;叶恺东

摘要

本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

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