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一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201420494585.2
  • IPC分类号:C23C14/50
  • 申请日期:
    2014-08-30
  • 申请人:
    宜昌后皇真空科技有限公司
著录项信息
专利名称一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架
申请号CN201420494585.2申请日期2014-08-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/50IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人宜昌后皇真空科技有限公司申请人地址
湖北省宜昌市长阳创新产业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宜昌后皇真空科技有限公司当前权利人宜昌后皇真空科技有限公司
发明人闫少健;韩滨;田灿鑫;付德君
代理机构宜昌市三峡专利事务所代理人姜荣华
摘要
一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,包括活塞环架和底盘,活塞环架活动设在底盘上;活塞环架包括定位杆、支撑杆,定位杆与支撑杆之间通过调节杆连接;底盘上沿直径方向上设有长条形通孔,支撑杆下端的固定杆穿过通孔。本实用新型适用于不同规格的活塞环装架进行镀膜处理,也可将活塞环架整体取下用于其它活塞环处理作业;简便易行,提高生产效率,降低成本。

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