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一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510629763.7
  • IPC分类号:G01N23/04
  • 申请日期:
    2015-09-28
  • 申请人:
    北京工业大学
著录项信息
专利名称一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台
申请号CN201510629763.7申请日期2015-09-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-01-06公开/公告号CN105223213A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N23/04IPC分类号G;0;1;N;2;3;/;0;4查看分类表>
申请人北京工业大学申请人地址
北京市大兴区经济技术开发区科创十四街99号33幢A单元3层302-1室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人百实创(北京)科技有限公司当前权利人百实创(北京)科技有限公司
发明人韩晓东;李志鹏;毛圣成;王晓冬;庄春强;张剑飞;邓青松;翟亚迪;张韬楠;张泽
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司代理人刘萍
摘要
一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能‑显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成,整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动,样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内,在双轴倾转条件下,驱动装置驱动微型压头,在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察,研究其变形机制,揭示其显微结构与力学性能的关系。

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