组合式镀膜工件伞架

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620828277.8
IPC分类号：C23C14/50
申请日期：
2016-08-03
申请人：
光驰科技（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	组合式镀膜工件伞架
申请号	CN201620828277.8	申请日期	2016-08-03
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	光驰科技（上海）有限公司	申请人地址	广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号1栋101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞汇驰真空制造有限公司	当前权利人	东莞汇驰真空制造有限公司
发明人	龙汝磊;范滨;李刚正;吴萍
代理机构	上海申蒙商标专利代理有限公司	代理人	徐小蓉

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种组合式镀膜工件伞架，其特征在于所述镀膜工件伞架至少包括中心固定件、若干支撑臂和基片盘，若干所述支撑臂的一端分别与所述中心固定件之间构成可拆卸式的连接固定，所述基片盘搭载在相邻的所述支撑臂之间，所述基片盘用于承载所述基片。本实用新型的优点是1)便于取放；2)便于根据镀膜需求灵活选择伞架的分割数和伞架的面形，宜于后续产品的拓展；3)单个基片盘体积小、稳定性好，易于管理和清洁维护，前、后延自动化的拓展更安心；4)对应于客户现状产品，单罩产量更好；5)优化改良成膜均匀性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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